Sentronics： SemDex A
應(yīng)用領(lǐng)域：
電子裝配
半導(dǎo)體
SemDex A是德國(guó)SENTRONICS公司開發(fā)的全自動(dòng)晶圓參數(shù)測(cè)量系統(tǒng)，具有高可靠性與高精度，此系統(tǒng)可進(jìn)行多種升級(jí)以滿足不同的使用需求。
主要優(yōu)點(diǎn)
?產(chǎn)品應(yīng)用
? 晶圓厚度（TTV）/多層薄膜厚度測(cè)量
? 晶圓翹曲度與彎曲度（Bow、Warp）測(cè)量
? 3D 形貌，關(guān)鍵尺寸測(cè)量（凸塊）
? TSV 深度的縱橫比測(cè)量
? RST 厚度測(cè)量
? 粗糙度測(cè)量
? 超薄膜厚度測(cè)量